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DaiichiKeiki洁凈压力表KPT半导体产业用压力计
品名:半导体工业用压力表
品牌: DAIICHI KEIKI *一计器 DK原产地:日本
DaiichiKeiki洁凈压力表KPT半导体产业用压力计
標準仕様?性能
型式選択 | 仕様 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
①グレード | クリーン度 | 洗浄 | ブルドン管材質 | 組立?調整 | 禁油?禁水処理 | 包装 |
G1 |
クラス 100 (VCR継手のみ製作可) |
超音波洗浄 |
SUS316L クリーンパイプ |
クラス 100 |
接液部に油脂類及び 水分がないようにに処理 |
クリーンルームで 真空包装 |
G2 | クラス 1000 |
SUS316L LBAパイプ |
クラス 1000 |
型式選択 | 仕様 | ||||
---|---|---|---|---|---|
②接続ねじ | 2 | G1/4B | |||
7 | R1/4 | ||||
VM | 9/16-18UNF VCRオス | ||||
VF | 9/16-18UNF VCR袋ナット | ||||
③大きさ | 1 | φ50 | |||
2 | φ60 | ||||
④接液部材質 | - | 用途 | 接続部 | ブルドン管 | |
6 | 耐食 | SUS316 | SUS316L | ||
⑤ケース | - | 形状 | 材質 | 大きさ | |
A | 縁なし形 | SUS304 | φ50 | ||
AD | 縁無埋込形 | ||||
D | 埋込形 | ||||
A | 縁なし形 | SUS304 | φ60 | ||
D | 埋込形 | ||||
⑤圧力レンジ(MPa) ※1 |
- | 圧力 |
0.10.160.250.40.611.62.546101625
|
||
真空 |
-0.1
|
||||
連成 |
-0.1/0.1-0.1/0.16-0.1/0.25-0.1/0.4-0.1/0.6-0.1/1-0.1/1.6-0.1/2.5
|
用途 | 大きさ | ケース外観 | G1/4B | R1/4 | VCRオス | VCR袋ナット | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
耐食用途 | 50 | A | 縁無し形 | KPT-216A | KPT-716A | KPT-VM16A | KPT-VF16A |
AD | 縁なし埋込形 | KPT-216AD | KPT-716AD | KPT-VM16AD | KPT-VF16AD | ||
D | 埋込形 | KPT-216D | KPT-716D | KPT-VM16D | KPT-VF16D | ||
60 | A | 縁無し形 | KPT-226A | KPT-726A | KPT-VM26A | KPT-VF26A | |
D | 埋込形 | KPT-226D | KPT-726D | KPT-VM26D | KPT-VF26D |
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